Как предотвратить обратную диффузию в турбомолекулярных насосах за счет вентиляции

После выключения или в случае отключения электроэнергии из турбомолекулярных насосов всегда следует выпускать воздух, чтобы предотвратить обратную диффузию углеводородов с форвакуумной стороны в вакуумную камеру.

После выключения турбомолекулярного насоса https://tako-line.ru/catalog/vakuumnoe_oborudovanie/vakuymnye_nasosy/turbomolekulyarnye_nasosy/ подача охлаждающей воды также должна быть отключена, чтобы предотвратить возможную конденсацию водяного пара. Для защиты ротора рекомендуется соблюдать минимальное время вентиляции, указанное в инструкции по эксплуатации. Удаление воздуха из насоса, за исключением случая работы с защитным газом, должно производиться через выпускной фланец, который уже содержит дроссель из спеченного металла, так что удаление воздуха может осуществляться с помощью обычного клапана или клапана выпуска воздуха при отключении питания.

Как работает система защиты в турбомолекулярных насосах с газовым барьером и поглотителем вибраций

В насосах, оснащенных защитным газом, инертный газ, например, сухой азот, может подаваться через специальный фланец для защиты моторного отсека и подшипников от агрессивных сред. Специальный затворный и выпускной клапан отмеряет необходимое количество затворного газа и может также служить в качестве выпускного клапана.

В случае применения высокочувствительных приборов, таких как электронные микроскопы, рекомендуется устанавливать вибропоглотители, которые сводят имеющиеся вибрации к минимуму. Для насосов с магнитной подвеской обычно подходит прямое соединение с вакуумным аппаратом из-за чрезвычайно низкой вибрации, создаваемой такими насосами.